Отрывок: Проведены кристаллографические исследования поверхности полупро­ водниковых пластин, показавшие корреляцию между размерами и формой ямок травления (дислокаций) с величиной отклонения плоскости алмазной пилы от нормали к оси полупроводникового стержня, выражаемую в отклонении ямок травления от правильной формы равностороннего треугольника или квадр...
Название : Исследование корреляции параметров краевых дислокаций и кристаллографических плоскостей полупроводника
Авторы/Редакторы : Виноградов А. Д.
Подлипнов В. В.
Дата публикации : 2007
Библиографическое описание : Виноградов, А. Д. Исследование корреляции параметров краевых дислокаций и кристаллографических плоскостей полупроводника / А. Д. Виноградов, В. В. Подлипнов // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 192.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\480323
Ключевые слова: режимы технологического процесса
разрезание полупроводниковых стержней
приборостроение
полупроводники
краевые дислокации
кристаллографические исследования
кристаллографические параметры
физико-математические модели
скрытые дефекты структуры
аналитические зависимости
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0531-8_2007-192.pdf58.71 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.