Отрывок: Проведены кристаллографические исследования поверхности полупро­ водниковых пластин, показавшие корреляцию между размерами и формой ямок травления (дислокаций) с величиной отклонения плоскости алмазной пилы от нормали к оси полупроводникового стержня, выражаемую в отклонении ямок травления от правильной формы равностороннего треугольника или квадр...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorВиноградов А. Д.ru
dc.contributor.authorПодлипнов В. В.ru
dc.coverage.spatialрежимы технологического процессаru
dc.coverage.spatialразрезание полупроводниковых стержнейru
dc.coverage.spatialприборостроениеru
dc.coverage.spatialполупроводникиru
dc.coverage.spatialкраевые дислокацииru
dc.coverage.spatialкристаллографические исследованияru
dc.coverage.spatialкристаллографические параметрыru
dc.coverage.spatialфизико-математические моделиru
dc.coverage.spatialскрытые дефекты структурыru
dc.coverage.spatialаналитические зависимостиru
dc.creatorВиноградов А. Д., Подлипнов В. В.ru
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\480323ru
dc.identifier.citationВиноградов, А. Д. Исследование корреляции параметров краевых дислокаций и кристаллографических плоскостей полупроводника / А. Д. Виноградов, В. В. Подлипнов // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 192.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceIX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. - Текст : электронныйru
dc.titleИсследование корреляции параметров краевых дислокаций и кристаллографических плоскостей полупроводникаru
dc.typeTextru
dc.citation.spage192ru
dc.textpartПроведены кристаллографические исследования поверхности полупро­ водниковых пластин, показавшие корреляцию между размерами и формой ямок травления (дислокаций) с величиной отклонения плоскости алмазной пилы от нормали к оси полупроводникового стержня, выражаемую в отклонении ямок травления от правильной формы равностороннего треугольника или квадр...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0531-8_2007-192.pdf58.71 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.