Отрывок: параметры пленок исследовались на про­ мышленном оборудовании (вакуумные установки типа УВН-2М-1, УВН-2М-2) и с помощью современных измерительных приборов (Е8-4, Р-571, йСТИ-1, КИТ-1, 0ППИР-017 ,■ микроскопы МИЙ-4, УЭМВ-IOOK, электронограф ЭГ-1ООА, установки и спектрометры СФ-4А, ИКС-14, UR -20, ВМР-2)и др. Удельная емкость тонкопленочных конденсаторов на основе/VdflC03 составляла 0,05-0,15 мкф/см2 .при рабочем напряжении I0-I5B. Тангенс угла диэлектрических потерь изменялся в диапазо...
Название : Выбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем
Авторы/Редакторы : Чернобровкин Д. И.
Кутолин С. А.
Волкова В. В.
Мишанин Н. Д.
Пиганов М. Н.
Дата публикации : 1977
Библиографическое описание : Выбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем / Д. И. Чернобровкин, С. А. Кутолин, В. В. Волкова, Н. Д. Мишанин, М. Н. Пиганов // Исследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. / М-во высш. и сред.спец. образования РСФСР, Куйбышев.авиац. ин-т им. С. П. Королева ; редкол. : Г. В. Абрамов (отв. ред.) [и др.]. - Куйбышев : [КуАИ], 1977. - Вып. 5, 1977. - С. 70-78.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\550948
Ключевые слова: диэлектрики емкостных элементов
диэлектрическая проницаемость
интегральные микросхемы
результаты исследований
оптимальные технологические условия
критерии выбора материалов
коэффициент поляронного эффекта
конденсация диэлектрических пленок
энергия активации
электрофизические свойства пленок
ширина запрещенной зоны
тонкопленочные конденсаторы
Располагается в коллекциях: Исследования по акустике

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр._1977-70-78.pdf411.77 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.