Отрывок: параметры пленок исследовались на про­ мышленном оборудовании (вакуумные установки типа УВН-2М-1, УВН-2М-2) и с помощью современных измерительных приборов (Е8-4, Р-571, йСТИ-1, КИТ-1, 0ППИР-017 ,■ микроскопы МИЙ-4, УЭМВ-IOOK, электронограф ЭГ-1ООА, установки и спектрометры СФ-4А, ИКС-14, UR -20, ВМР-2)и др. Удельная емкость тонкопленочных конденсаторов на основе/VdflC03 составляла 0,05-0,15 мкф/см2 .при рабочем напряжении I0-I5B. Тангенс угла диэлектрических потерь изменялся в диапазо...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЧернобровкин Д. И.ru
dc.contributor.authorКутолин С. А.ru
dc.contributor.authorВолкова В. В.ru
dc.contributor.authorМишанин Н. Д.ru
dc.contributor.authorПиганов М. Н.ru
dc.coverage.spatialдиэлектрики емкостных элементовru
dc.coverage.spatialдиэлектрическая проницаемостьru
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемыru
dc.coverage.spatialрезультаты исследованийru
dc.coverage.spatialоптимальные технологические условияru
dc.coverage.spatialкритерии выбора материаловru
dc.coverage.spatialкоэффициент поляронного эффектаru
dc.coverage.spatialконденсация диэлектрических пленокru
dc.coverage.spatialэнергия активацииru
dc.coverage.spatialэлектрофизические свойства пленокru
dc.coverage.spatialширина запрещенной зоныru
dc.coverage.spatialтонкопленочные конденсаторыru
dc.creatorЧернобровкин Д. И., Кутолин С. А., Волкова В. В., Мишанин Н. Д., Пиганов М. Н.ru
dc.date.issued1977ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\550948ru
dc.identifier.citationВыбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхем / Д. И. Чернобровкин, С. А. Кутолин, В. В. Волкова, Н. Д. Мишанин, М. Н. Пиганов // Исследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. / М-во высш. и сред.спец. образования РСФСР, Куйбышев.авиац. ин-т им. С. П. Королева ; редкол. : Г. В. Абрамов (отв. ред.) [и др.]. - Куйбышев : [КуАИ], 1977. - Вып. 5, 1977. - С. 70-78.ru
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofИсследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике : межвуз. сб. - Текст : электронныйru
dc.sourceИсследования по акустике, электрофизике и радиоэлектронике. - Вып. 5ru
dc.titleВыбор материалов и оптимальных технологических условий конденсации диэлектрических пленок для микросхемru
dc.typeTextru
dc.citation.epage78ru
dc.citation.spage70ru
dc.textpartпараметры пленок исследовались на про­ мышленном оборудовании (вакуумные установки типа УВН-2М-1, УВН-2М-2) и с помощью современных измерительных приборов (Е8-4, Р-571, йСТИ-1, КИТ-1, 0ППИР-017 ,■ микроскопы МИЙ-4, УЭМВ-IOOK, электронограф ЭГ-1ООА, установки и спектрометры СФ-4А, ИКС-14, UR -20, ВМР-2)и др. Удельная емкость тонкопленочных конденсаторов на основе/VdflC03 составляла 0,05-0,15 мкф/см2 .при рабочем напряжении I0-I5B. Тангенс угла диэлектрических потерь изменялся в диапазо...-
Располагается в коллекциях: Исследования по акустике

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр._1977-70-78.pdf411.77 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.