Отрывок: омаксминск.оск fССfC  1 , (4) где Сп, Сск, г/см 2 – концентрации атомно-молекулярных загрязнений, соответствующие коэффициентам трения покоя и скольжения; m, B – эмпирические константы; fмакс, fмин – максимальный и минимальный коэффициент трения покоя; fск.о – коэффициент трения скольжения в относительных величинах; Смин, Смакс – предельные значения концентраций атомно-молекулярных загрязнений. Информационные технологии и нанотехнологии-...
Название : Трибометрическое устройство экспресс-контроля чистоты поверхности подложек
Авторы/Редакторы : Ивлиев, Н.А.
Колпаков, В.А.
Лукичев, Д.С.
Ключевые слова : трибометрическое устройство
контроль степени чистоты
поверхность
Дата публикации : 2016
Издательство : Издательство СГАУ
Библиографическое описание : Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 204-209
Аннотация : Представлено трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации органических загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек в диапазоне 5·10^-10 – 10^-7 г/см2 и основанное на измерении коэффициентов трения покоя и скольжения между исследуемыми поверхностями.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Tribometricheskoe-ustroistvo-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-60645
ISBN : 978-5-7883-1078-7
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20161208\60645
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
204-209.pdfОсновная статья562.61 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.