Отрывок: Проанализировав устройство, конструкции и недостатки испарителей, был разработан и изготовлен собственный вариант «квазизамкнутого» испарителя многокомпонентных материалов, принципиальная схема которого представлена на рис. 1. Рис. 1. Принципиальная схема «квазизамкнутого» испарителя многокомпонентных материалов Информационные технологии и нанотехнологии-2016 160 Испаритель обладает простотой изготовления. Изготавливался из стер...
Название : Разработка способа напыления многокомпонентных материалов при изготовлении ДОЭ
Авторы/Редакторы : Фомченков, С.А.
Скиданов, Р.В.
Ключевые слова : термическое испарение в вакууме
халькогениды
тонкие пленки
дифракционная оптика
Дата публикации : 2016
Издательство : Издательство СГАУ
Библиографическое описание : Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 158-161
Аннотация : Предложена конструкция квазизамкнутого испарителя многокомпонентных материалов высокую однородность напыляемых пленок. Термическим испарением в вакууме были получены пленки халькогенидов. Проведены исследования однородности физических свойств и равномерности пленок по толщине.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-sposoba-napyleniya-mnogokomponentnyh-materialov-pri-izgotovlenii-DOE-60637
ISBN : 978-5-7883-1078-7
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20161208\60637
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
158-161.pdfОсновная статья322.59 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.