Отрывок: Проанализировав устройство, конструкции и недостатки испарителей, был разработан и изготовлен собственный вариант «квазизамкнутого» испарителя многокомпонентных материалов, принципиальная схема которого представлена на рис. 1. Рис. 1. Принципиальная схема «квазизамкнутого» испарителя многокомпонентных материалов Информационные технологии и нанотехнологии-2016 160 Испаритель обладает простотой изготовления. Изготавливался из стер...
Название : | Разработка способа напыления многокомпонентных материалов при изготовлении ДОЭ |
Авторы/Редакторы : | Фомченков, С.А. Скиданов, Р.В. |
Ключевые слова : | термическое испарение в вакууме халькогениды тонкие пленки дифракционная оптика |
Дата публикации : | 2016 |
Издательство : | Издательство СГАУ |
Библиографическое описание : | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 158-161 |
Аннотация : | Предложена конструкция квазизамкнутого испарителя многокомпонентных материалов высокую однородность напыляемых пленок. Термическим испарением в вакууме были получены пленки халькогенидов. Проведены исследования однородности физических свойств и равномерности пленок по толщине. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-sposoba-napyleniya-mnogokomponentnyh-materialov-pri-izgotovlenii-DOE-60637 |
ISBN : | 978-5-7883-1078-7 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20161208\60637 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
158-161.pdf | Основная статья | 322.59 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.