Отрывок: В качестве мишени для напыления была выбрана мишень оксида цинка (ZnO). Зависимость показателя преломления от длины волны данного оксида представлена на рисунке 1. В ходе работы были подобраны оптимальные параметры напыления пленки оксида цинка на подложку из кварца оптического качества. Мощность подаваемого с генератора сигнала P = 500 Вт, расход аргона Q(Ar) = 2,0 л/ч, Q(O2) = 0,7 л/ч, остаточной давления в камере p = 5*10 -4 Па, температура нагрева подложки t = 120 ...
Название : Разработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементов
Авторы/Редакторы : Фомченков, С.А.
Полетаев, С.Д.
Ключевые слова : магнетронное напыление
тонкие плёнки
дифракционные оптические элементы
Дата публикации : 2017
Издательство : Новая техника
Библиографическое описание : Фомченков С.А. Разработка и исследование способа напыления тонких диэлектрических пленок для создания многослойных дифракционных оптических элементов / С.А. Фомченков, С.Д. Полетаев // Сборник трудов III международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2017) - Самара: Новая техника, 2017. - С. 282-284.
Аннотация : Исследован процесс магнетронного напыления диэлектрических пленок оксида цинка ZnO с помощью установки магнетронного распыления с постоянным источником тока «Caroline D12A», модернизированной с целью возможности распыления диэлектрических мишеней. Показано, что данный способ напыления диэлектрических пленок позволяет получать качественные покрытия и слои, соответствующие требованиям для создания многослойных дифракционных оптических элементов.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Razrabotka-i-issledovanie-sposoba-napyleniya-tonkih-dielektricheskih-plenok-dlya-sozdaniya-mnogosloinyh-difrakcionnyh-opticheskih-elementov-63663
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20170510\63663
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
paper 58_282-284.pdfОсновная статья. Раздел: Компьютерная оптика и нанофотоника628.28 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.