Отрывок: Ограниченной кривыми линиями областью обозначена полученная после проявления топология хромовой маски. Стрелкой показано направление сканирования лазерного пучка. Угол угол входа лазерного трека в край структуры микроэлемента. Видно, что в местах стыка дифракционных зон по диагонали присутствуют разрывы и слияния. Разрывы образуются в местах, где действует короткий лазерный импульс (точка 1 ...
Название : Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток
Авторы/Редакторы : Куц Р. И.
Корольков В. П.
Саметов А. Р.
Черкашин В. В.
Голубцов С. К.
Дата публикации : 2022
Библиографическое описание : Исследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток / Р. И. Куц, В. П. Корольков, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2022. - С. 012852.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\491268
Ключевые слова: дифракционные оптические элементы
дифракционные структуры
искажение топологических элементов
ошибки топологии
скрещенные дифракционные решетки
прямая лазерная запись
технологические параметры
термохимическое окисление
тонкие пленки металлов
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-1789-2_2022-012852.pdf977.69 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.