Отрывок: Ограниченной кривыми линиями областью обозначена полученная после проявления топология хромовой маски. Стрелкой показано направление сканирования лазерного пучка. Угол угол входа лазерного трека в край структуры микроэлемента. Видно, что в местах стыка дифракционных зон по диагонали присутствуют разрывы и слияния. Разрывы образуются в местах, где действует короткий лазерный импульс (точка 1 ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКуц Р. И.ru
dc.contributor.authorКорольков В. П.ru
dc.contributor.authorСаметов А. Р.ru
dc.contributor.authorЧеркашин В. В.ru
dc.contributor.authorГолубцов С. К.ru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialдифракционные структурыru
dc.coverage.spatialискажение топологических элементовru
dc.coverage.spatialошибки топологииru
dc.coverage.spatialскрещенные дифракционные решеткиru
dc.coverage.spatialпрямая лазерная записьru
dc.coverage.spatialтехнологические параметрыru
dc.coverage.spatialтермохимическое окислениеru
dc.coverage.spatialтонкие пленки металловru
dc.creatorКуц Р. И., Корольков В. П., Саметов А. Р., Черкашин В. В., Голубцов С. К.ru
dc.date.issued2022ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\491268ru
dc.identifier.citationИсследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решеток / Р. И. Куц, В. П. Корольков, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022Т. 1: Компьютерная оптика и нанофотоника / под ред. Е. С. Козловой. - 2022. - С. 012852.ru
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022) : сб. тр. по материалам VIII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 23 - 27 мая) : в 5 т. -ru
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2022). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоникаru
dc.titleИсследование ошибок термохимической лазерной записи скрещенных дифракционных решетокru
dc.typeTextru
dc.citation.spage012852ru
dc.citation.volume1ru
dc.textpartОграниченной кривыми линиями областью обозначена полученная после проявления топология хромовой маски. Стрелкой показано направление сканирования лазерного пучка. Угол угол входа лазерного трека в край структуры микроэлемента. Видно, что в местах стыка дифракционных зон по диагонали присутствуют разрывы и слияния. Разрывы образуются в местах, где действует короткий лазерный импульс (точка 1 ...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-1789-2_2022-012852.pdf977.69 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.