Отрывок: Then with help of plasma etching system we transfer phase mask from resist layer to defective layer of filter. And on last step we deposit top mirror. 3. Conclusion The main advantage of MSOF over linear variable filters is that it can be made on a small surface area. This advantage allows the use of a similar filter in optical circuits, where space and mass are important, for example for portable hyper spectrometers [14]. In this type of linear filter, by decreasing the thicknes...
Название : Investigation of a linear variable optical filter (LVOF) manufacturing process
Авторы/Редакторы : Fomchenkov, S.A.
Porfirev, A.P.
Дата публикации : 2019
Издательство : Изд-во «Новая техника»
Библиографическое описание : Fomchenkov S.A. Investigation of a linear variable optical filter (LVOF) manufacturing process / S.A. Fomchenkov, A.P. Porfirev // Сборник трудов ИТНТ-2019 [Текст] : V междунар. конф. и молодеж. шк. "Информ. технологии и нанотехнологии" : 21-24 мая : в 4 т. / Самар. нац.-исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем. обраб. изобр. РАН-фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН ; [под ред. Р. В. Скиданова]. - Самара: Новая техника, 2019. - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника. - 2019. - С. 649-651.
Аннотация : This paper reports on fabrication process for Linear Variable Optical Filters (LVOF). This LVOF can be fabricated in a resist layer by just one lithography step. The profile of resist structure is subsequently transferred into quartz substrate by plasma etching. Complete LVOF fabrication involves deposition of a lower dielectric mirror using a stack of dielectrics on the substrate, tapered layer formation and deposition of the top dielectric mirror [1]. Shown possibility of LVOF using in experimental hyperspectral setups.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Investigation-of-a-linear-variable-optical-filter-LVOF-manufacturing-process-75825
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20190424\75825
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
paper116.pdf259.78 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.