Отрывок: Целью данной работы является формирование тонких пленок ITO на стеклянных подложках методом магнетронного распыления при комнатной температуре в бескислородной среде и исследование их электрофизических и оптических свойств. 2. Методика эксперимента Тонкие пленки ITO были получены на стеклянных подложках при работе м...
Название : | Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах |
Авторы/Редакторы : | Гончаров Е. В. Саенко А. В. Малюков С. П. Палий А. В. |
Дата публикации : | 2021 |
Библиографическое описание : | Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах. - Текст : электронный / Е. В. Гончаров, А. В. Саенко, С. П. Малюков, А. В. Палий // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011822 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\467183 |
Ключевые слова: | тонкие электропроводящие пленки удельное сопротивление толщина пленок пленки ITO оптическое пропускание магнетронное распыление |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
74paper011822.pdf | 278.1 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.