Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Целью данной работы является формирование тонких пленок ITO на стеклянных подложках методом магнетронного распыления при комнатной температуре в бескислородной среде и исследование их электрофизических и оптических свойств. 2. Методика эксперимента Тонкие пленки ITO были получены на стеклянных подложках при работе м...

Название :	Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах
Авторы/Редакторы :	Гончаров Е. В. Саенко А. В. Малюков С. П. Палий А. В.
Дата публикации :	2021
Библиографическое описание :	Формирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах. - Текст : электронный / Е. В. Гончаров, А. В. Саенко, С. П. Малюков, А. В. Палий // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011822
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\467183
Ключевые слова:	тонкие электропроводящие пленки удельное сопротивление толщина пленок пленки ITO оптическое пропускание магнетронное распыление
Располагается в коллекциях:	Информационные технологии и нанотехнологии

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.