Отрывок: Целью данной работы является формирование тонких пленок ITO на стеклянных подложках методом магнетронного распыления при комнатной температуре в бескислородной среде и исследование их электрофизических и оптических свойств. 2. Методика эксперимента Тонкие пленки ITO были получены на стеклянных подложках при работе м...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГончаров Е. В.ru
dc.contributor.authorСаенко А. В.ru
dc.contributor.authorМалюков С. П.ru
dc.contributor.authorПалий А. В.ru
dc.coverage.spatialтонкие электропроводящие пленкиru
dc.coverage.spatialудельное сопротивлениеru
dc.coverage.spatialтолщина пленокru
dc.coverage.spatialпленки ITOru
dc.coverage.spatialоптическое пропусканиеru
dc.coverage.spatialмагнетронное распылениеru
dc.creatorГончаров Е. В., Саенко А. В., Малюков С. П., Палий А. В.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\467183ru
dc.identifier.citationФормирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементах. - Текст : электронный / Е. В. Гончаров, А. В. Саенко, С. П. Малюков, А. В. Палий // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.]. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изображений РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника РАН. - 2021. - Т. 1. - С. 011822ru
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021) : сб. тр. по материалам VII Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 20-24 сент.) : [в 3 т.].ru
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2021). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоникаru
dc.titleФормирование тонких пленок ITO методом магнетронного распыления для применения в солнечных элементахru
dc.typeTextru
dc.citation.spage011822ru
dc.citation.volume1ru
dc.textpartЦелью данной работы является формирование тонких пленок ITO на стеклянных подложках методом магнетронного распыления при комнатной температуре в бескислородной среде и исследование их электрофизических и оптических свойств. 2. Методика эксперимента Тонкие пленки ITO были получены на стеклянных подложках при работе м...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
74paper011822.pdf278.1 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.