Отрывок: 16) и (4.17), присоединяя к се бе по схеме (4.4) электрон, становятся отрицательными ионами F ” , кото рые на поверхности при ПХТ, согласно (4.8), испытывают обратное пре вращение. Подобных превращений следует ожидать и от отрицательных ионов О ", причем радикалы кислорода, обладая высокой химической ак- тивностью, конкурируют с радикалами F в занятии активных центров на поверхности обработки, что при определенной концентрации 0 2 в плазме может привести к снижению скорос...
Название : | Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы |
Авторы/Редакторы : | Колпаков В. А. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева Российская академия наук |
Дата публикации : | 2010 |
Библиографическое описание : | Колпаков, В. А. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы [Электронный ресурс] : дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 : защищена 29.06.2010 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2010. - [r=on-line] |
Аннотация : | ДСП |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/К 615-503502 |
Ключевые слова: | внеэлектродная плазма полупроводниковые оптические материалы оптические материалы диэлектрические оптические материалы |
Располагается в коллекциях: | Диссертации (Закрыто) |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Колпаков В. А. Приборы и методы.pdf | 147.37 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.