Отрывок: 3.3. Зависимости скорости травления от напряжения на электродах газоразрядного устройства при разных значениях тока разряда: 1 - 140 мА, В = 1; 2 - 120 м А ,Б = 0,625; 3 - 80 мА, В = 0,588; 4 - 50 мА, В = 0,555 ; ш триховыми линиями показаны зависимости (2.41) и (2.46); х - значения скорости травления, рассчитанные с помощью программного обеспечения. Анализ данных зависимостей показывает, что при малых значениях напряжений (0,5-1 кВ) и больших значениях тока (120-140 мА, к...
Название : Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа
Авторы/Редакторы : Колпаков В. А.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Российская академия наук
Дата публикации : 2004
Библиографическое описание : Колпаков, В. А. Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Электронный ресурс] : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2004. - on-line
Аннотация : ДСП
Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
Используемые программы: Adobe Acrobat
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/К 615-015529
Ключевые слова: плазма газового разряда
оптический микрорельеф
газовый разряд высоковольтного типа
диоксид кремния
Располагается в коллекциях: Диссертации (Закрыто)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Колпаков В.А.Формирование оптического.PDFfrom 1C4.19 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.