Отрывок: 3.3. Зависимости скорости травления от напряжения на электродах газоразрядного устройства при разных значениях тока разряда: 1 - 140 мА, В = 1; 2 - 120 м А ,Б = 0,625; 3 - 80 мА, В = 0,588; 4 - 50 мА, В = 0,555 ; ш триховыми линиями показаны зависимости (2.41) и (2.46); х - значения скорости травления, рассчитанные с помощью программного обеспечения. Анализ данных зависимостей показывает, что при малых значениях напряжений (0,5-1 кВ) и больших значениях тока (120-140 мА, к...
Название : | Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа |
Авторы/Редакторы : | Колпаков В. А. Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева Российская академия наук |
Дата публикации : | 2004 |
Библиографическое описание : | Колпаков, В. А. Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Электронный ресурс] : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2004. - on-line |
Аннотация : | ДСП Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) Используемые программы: Adobe Acrobat |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/К 615-015529 |
Ключевые слова: | плазма газового разряда оптический микрорельеф газовый разряд высоковольтного типа диоксид кремния |
Располагается в коллекциях: | Диссертации (Закрыто) |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Колпаков В.А.Формирование оптического.PDF | from 1C | 4.19 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.