Отрывок: 3.3. Зависимости скорости травления от напряжения на электродах газоразрядного устройства при разных значениях тока разряда: 1 - 140 мА, В = 1; 2 - 120 м А ,Б = 0,625; 3 - 80 мА, В = 0,588; 4 - 50 мА, В = 0,555 ; ш триховыми линиями показаны зависимости (2.41) и (2.46); х - значения скорости травления, рассчитанные с помощью программного обеспечения. Анализ данных зависимостей показывает, что при малых значениях напряжений (0,5-1 кВ) и больших значениях тока (120-140 мА, к...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.contributor.authorРоссийская академия наукru
dc.coverage.spatialплазма газового разрядаru
dc.coverage.spatialоптический микрорельефru
dc.coverage.spatialгазовый разряд высоковольтного типаru
dc.coverage.spatialдиоксид кремнияru
dc.creatorКолпаков В. А.ru
dc.date.issued2004ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/Дис/К 615-015529ru
dc.identifier.citationКолпаков, В. А. Формирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Электронный ресурс] : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН. - Самара, 2004. - on-lineru
dc.description.abstractДСПru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)ru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobatru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 4,09 Мбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofФормирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типа [Текст] : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01ru
dc.titleФормирование оптического микрорельефа на диоксиде кремния в плазме газового разряда высоковольтного типаru
dc.typeTextru
dc.subject.rubbk01.04.01ru
dc.subject.rugasnti29.03ru
dc.subject.udc53.145(043.3)ru
dc.subject.udcДисru
dc.textpart3.3. Зависимости скорости травления от напряжения на электродах газоразрядного устройства при разных значениях тока разряда: 1 - 140 мА, В = 1; 2 - 120 м А ,Б = 0,625; 3 - 80 мА, В = 0,588; 4 - 50 мА, В = 0,555 ; ш триховыми линиями показаны зависимости (2.41) и (2.46); х - значения скорости травления, рассчитанные с помощью программного обеспечения. Анализ данных зависимостей показывает, что при малых значениях напряжений (0,5-1 кВ) и больших значениях тока (120-140 мА, к...-
Располагается в коллекциях: Диссертации (Закрыто)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Колпаков В.А.Формирование оптического.PDFfrom 1C4.19 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.