Отрывок: Если расчетная высо- та h профиля составляет 4,6 мкм, то высота формируемого рельефа варьируется от 4,0 до 5,2 мкм. Образование клина травления при производстве матрицы объясняется изо- тропией химических процессов и аморфностью подложки. Острый угол между плоскостью торца и подъемом клина (характеризующий клин травления) для представленной технологии варьировался в интервале 36-440 . Глобальной технологической погрешностью,...
Название : Расчет дифракции лазерного излучения на оптическом микрорельефе методом разностного решения уравнений Максвелла
Авторы/Редакторы : Головашкин Д. Л.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 2007
Библиографическое описание : Головашкин, Д. Л. Расчет дифракции лазерного излучения на оптическом микрорельефе методом разностного решения уравнений Максвелла [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.05 / Головашкин Димитрий Львович ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (СГАУ). - Самара, 2007. - on-line
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat
Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/Г 61-695039
Ключевые слова: дифракция лазерного излучения
оптический микрорельеф
уравнения Максвелла
Располагается в коллекциях: Авторефераты

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Головашкин Д.Л.pdf511.53 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.