Отрывок: Если расчетная высо- та h профиля составляет 4,6 мкм, то высота формируемого рельефа варьируется от 4,0 до 5,2 мкм. Образование клина травления при производстве матрицы объясняется изо- тропией химических процессов и аморфностью подложки. Острый угол между плоскостью торца и подъемом клина (характеризующий клин травления) для представленной технологии варьировался в интервале 36-440 . Глобальной технологической погрешностью,...
Название : | Расчет дифракции лазерного излучения на оптическом микрорельефе методом разностного решения уравнений Максвелла |
Авторы/Редакторы : | Головашкин Д. Л. Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 2007 |
Библиографическое описание : | Головашкин, Д. Л. Расчет дифракции лазерного излучения на оптическом микрорельефе методом разностного решения уравнений Максвелла [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.05 / Головашкин Димитрий Львович ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (СГАУ). - Самара, 2007. - on-line |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/Г 61-695039 |
Ключевые слова: | дифракция лазерного излучения оптический микрорельеф уравнения Максвелла |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Головашкин Д.Л.pdf | 511.53 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.