Отрывок: Если расчетная высо- та h профиля составляет 4,6 мкм, то высота формируемого рельефа варьируется от 4,0 до 5,2 мкм. Образование клина травления при производстве матрицы объясняется изо- тропией химических процессов и аморфностью подложки. Острый угол между плоскостью торца и подъемом клина (характеризующий клин травления) для представленной технологии варьировался в интервале 36-440 . Глобальной технологической погрешностью,...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГоловашкин Д. Л.ru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.coverage.spatialдифракция лазерного излученияru
dc.coverage.spatialоптический микрорельефru
dc.coverage.spatialуравнения Максвеллаru
dc.creatorГоловашкин Д. Л.ru
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/Г 61-695039ru
dc.identifier.citationГоловашкин, Д. Л. Расчет дифракции лазерного излучения на оптическом микрорельефе методом разностного решения уравнений Максвелла [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.05 / Головашкин Димитрий Львович ; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (СГАУ). - Самара, 2007. - on-lineru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobatru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 511 Кбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofРасчет дифракции лазерного излучения на оптическом микрорельефе методом разностного решения уравнений Максвелла [Текст] : автореферат дис. ... д-ра фиru
dc.titleРасчет дифракции лазерного излучения на оптическом микрорельефе методом разностного решения уравнений Максвеллаru
dc.typeTextru
dc.subject.rubbk01.04.05ru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535(043.3)ru
dc.textpartЕсли расчетная высо- та h профиля составляет 4,6 мкм, то высота формируемого рельефа варьируется от 4,0 до 5,2 мкм. Образование клина травления при производстве матрицы объясняется изо- тропией химических процессов и аморфностью подложки. Острый угол между плоскостью торца и подъемом клина (характеризующий клин травления) для представленной технологии варьировался в интервале 36-440 . Глобальной технологической погрешностью,...-
Располагается в коллекциях: Авторефераты

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Головашкин Д.Л.pdf511.53 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.