Отрывок: e e gr KA mat iht ααγ ηγ piρ , (8) ( ) ( )[ ] − = − + − − in e e K Jd qeS I d d max max exp 1 11 αα γ ηγ , (9) где (1-d/dmax) – множитель, численно характеризующий долю ионов от обще- го потока, достигших поверхности образца и принимающих участие в его травлении при условии, что dmax>d; dmax – максимальное расстояние, на кото- рое распространяется внеэлектродная плазма, d – расстояние до подложки; I – ток разряда; SK – площадь...
Название : | Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы |
Авторы/Редакторы : | Колпаков В. А. Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева Российская академия наук |
Дата публикации : | 2010 |
Библиографическое описание : | Колпаков, В. А. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 : защищена 29.06.2010 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; [Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН]. - Самара, 2010. - on-line |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/К 615-119325 |
Ключевые слова: | внеэлектродная плазма диэлектрические оптические материалы полупроводниковые оптические материалы оптические материалы |
Располагается в коллекциях: | Авторефераты |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Колпаков В.А. Приборы и методы.pdf | 4.42 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.