Отрывок: e e gr KA mat iht ααγ ηγ piρ , (8) ( ) ( )[ ] − =      − + −      − in e e K Jd qeS I d d max max exp 1 11 αα γ ηγ , (9) где (1-d/dmax) – множитель, численно характеризующий долю ионов от обще- го потока, достигших поверхности образца и принимающих участие в его травлении при условии, что dmax>d; dmax – максимальное расстояние, на кото- рое распространяется внеэлектродная плазма, d – расстояние до подложки; I – ток разряда; SK – площадь...
Название : Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 : защищена 29.06.2010
Авторы/Редакторы : Колпаков В. А.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Институт систем обработки изображений РАН
Дата публикации : 2010
Библиографическое описание : Колпаков, В. А. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 : защищена 29.06.2010 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; [Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН]. - Самара, 2010. - on-line
Аннотация : Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
Используемые программы: Adobe Acrobat
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Avtoreferaty/Pribory-i-metody-prostranstvennoselektivnogo-travleniya-dielektricheskih-i-poluprovodnikovyh-opticheskih-materialov-napravlennym-potokom-vneelektrodnoi-p-62971
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/К 615-119325
Ключевые слова: внеэлектродная плазма
диэлектрические оптические материалы
оптические материалы
полупроводниковые оптические материалы
Располагается в коллекциях: Авторефераты

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Колпаков В.А. Приборы и методы.pdf4.42 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.