Отрывок: e e gr KA mat iht ααγ ηγ piρ , (8) ( ) ( )[ ] − =      − + −      − in e e K Jd qeS I d d max max exp 1 11 αα γ ηγ , (9) где (1-d/dmax) – множитель, численно характеризующий долю ионов от обще- го потока, достигших поверхности образца и принимающих участие в его травлении при условии, что dmax>d; dmax – максимальное расстояние, на кото- рое распространяется внеэлектродная плазма, d – расстояние до подложки; I – ток разряда; SK – площадь...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.contributor.authorРоссийская академия наукru
dc.coverage.spatialвнеэлектродная плазмаru
dc.coverage.spatialдиэлектрические оптические материалыru
dc.coverage.spatialполупроводниковые оптические материалыru
dc.coverage.spatialоптические материалыru
dc.creatorКолпаков В. А.ru
dc.date.issued2010ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/Автореф/К 615-119325ru
dc.identifier.citationКолпаков, В. А. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 : защищена 29.06.2010 / Колпаков Всеволод Анатольевич ; [Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Ин-т систем обраб. изображений РАН]. - Самара, 2010. - on-lineru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobatru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 4,31 Мбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofПриборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектроднойru
dc.titleПриборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмыru
dc.typeTextru
dc.subject.rubbk01.04.01ru
dc.subject.rugasnti29.03ru
dc.subject.udc53.145(043.3)ru
dc.textparte e gr KA mat iht ααγ ηγ piρ , (8) ( ) ( )[ ] − =      − + −      − in e e K Jd qeS I d d max max exp 1 11 αα γ ηγ , (9) где (1-d/dmax) – множитель, численно характеризующий долю ионов от обще- го потока, достигших поверхности образца и принимающих участие в его травлении при условии, что dmax>d; dmax – максимальное расстояние, на кото- рое распространяется внеэлектродная плазма, d – расстояние до подложки; I – ток разряда; SK – площадь...-
Располагается в коллекциях: Авторефераты

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Колпаков В.А. Приборы и методы.pdf4.42 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.