Отрывок: В ГЛАВЕ 3 приводятся результаты исследований кристаллической струк­ туры, а также количественного состава гетероэпитаксиальных слоев ЗС-SiC/Si. Были использованы методы рентгеновской дифрактометрии, дифракции быст­ рых электронов на отражение, растровой электронной микроскопии, электрон­ ной Оже-спектрокопии, отражательной ИК-спектроскопии. Раздел 3.1 посвящен рентгеноструктурному анализу гетероэпитаксиаль...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАтажанов Ш. Р.ru
dc.contributor.authorСамарский государственный университетru
dc.coverage.spatialдиэлектрикиru
dc.coverage.spatialвыращивание тонких пленокru
dc.coverage.spatialгазотранспортный методru
dc.coverage.spatialгетероэпитаксиальное выращиваниеru
dc.coverage.spatialдиссертацииru
dc.coverage.spatialтвердофазные источникиru
dc.coverage.spatialтермопреобразователиru
dc.coverage.spatialтруды ученых СамГУru
dc.coverage.spatialпленкиru
dc.coverage.spatialФизикаru
dc.creatorАтажанов Ш. Р.ru
dc.date.issued1997ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\348162ru
dc.identifier.citationАтажанов, Ш. Р. Исследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобразователей на их основе [Электронный ресурс] : автореферат дис. ... канд. физ-мат. наук : 01.04.10 / Атажанов Шавкат Ражабович ; [Самар. гос. ун-т]. - Самара, 1997. - on-lineru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 559 Кб)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofИсследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание терru
dc.subjectФизикаru
dc.titleИсследование гетероэпитаксиального выращивания пленок 3С-SiC на кремнии из твердофазных источников химическим газотранспортным методом и создание термопреобразru
dc.typeTextru
dc.subject.rubbkВ379ru
dc.textpartВ ГЛАВЕ 3 приводятся результаты исследований кристаллической струк­ туры, а также количественного состава гетероэпитаксиальных слоев ЗС-SiC/Si. Были использованы методы рентгеновской дифрактометрии, дифракции быст­ рых электронов на отражение, растровой электронной микроскопии, электрон­ ной Оже-спектрокопии, отражательной ИК-спектроскопии. Раздел 3.1 посвящен рентгеноструктурному анализу гетероэпитаксиаль...-
Располагается в коллекциях: Авторефераты

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Атажанов Ш.Р. Исследование.pdf559.02 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.