Отрывок: По измеренному спектру отражения естественного света были рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента поглощения. Измерения эллипсометрических параметров исследуемых структур SiC/поликор проводились на спектральном эллипсометре VASE (variable angle spectral ellipsometer) при углах падения от 65º до 70º в диапазоне длин волн от 200 до 1000 нм. Угол наклона плоскости поляризации падающего излучения к плоскости падения при всех измерениях был равен 45º [6]. На о...
Название : Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления
Авторы/Редакторы : Курганская Л. В.
Рябенкова О. В.
Щербак А. В.
Дата публикации : 2024
Библиографическое описание : Курганская, Л. В. Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления / Л. В. Курганская, О. В. Рябенкова, А. В. Щербак // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 270-271.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\554786
Ключевые слова: эллипсометрия
оптические параметры
спектры отражения
метод нормального отражения
метод магнетронного распыления
материалы электронной техники
карбид кремния
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903943-20-3_2024-270-271.pdf185.04 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.