Отрывок: По измеренному спектру отражения естественного света были рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента поглощения. Измерения эллипсометрических параметров исследуемых структур SiC/поликор проводились на спектральном эллипсометре VASE (variable angle spectral ellipsometer) при углах падения от 65º до 70º в диапазоне длин волн от 200 до 1000 нм. Угол наклона плоскости поляризации падающего излучения к плоскости падения при всех измерениях был равен 45º [6]. На о...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКурганская Л. В.ru
dc.contributor.authorРябенкова О. В.ru
dc.contributor.authorЩербак А. В.ru
dc.coverage.spatialэллипсометрияru
dc.coverage.spatialоптические параметрыru
dc.coverage.spatialспектры отраженияru
dc.coverage.spatialметод нормального отраженияru
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыленияru
dc.coverage.spatialматериалы электронной техникиru
dc.coverage.spatialкарбид кремнияru
dc.creatorКурганская Л. В., Рябенкова О. В., Щербак А. В.ru
dc.date.issued2024ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\554786ru
dc.identifier.citationКурганская, Л. В. Оптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыления / Л. В. Курганская, О. В. Рябенкова, А. В. Щербак // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2024. - С. 270-271.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 23-26 апр. 2024 г.). - Текст : электронныйru
dc.titleОптические свойства структур карбида кремния на поликоре, получаемых методом магнетронного распыленияru
dc.typeTextru
dc.citation.epage271ru
dc.citation.spage270ru
dc.textpartПо измеренному спектру отражения естественного света были рассчитаны спектры показателя преломления и коэффициента поглощения. Измерения эллипсометрических параметров исследуемых структур SiC/поликор проводились на спектральном эллипсометре VASE (variable angle spectral ellipsometer) при углах падения от 65º до 70º в диапазоне длин волн от 200 до 1000 нм. Угол наклона плоскости поляризации падающего излучения к плоскости падения при всех измерениях был равен 45º [6]. На о...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903943-20-3_2024-270-271.pdf185.04 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.