Отрывок: Проводится численное моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры. В результате проведенных чис­ ленных экспериментов получены следующие результаты: значения нерав­ номерностей толщины пленки и плотностей границ зерен, полученные из численных экспериментов, колебались, в зависимости от условий роста, от ±14,1% до ±28,85% и от 0,037 до 0,071 соответственно. Удел...
Название : Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры
Авторы/Редакторы : Осипов А. Н.
Филимонова М. Н.
Дата публикации : 2007
Библиографическое описание : Осипов, А. Н. Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры / А. Н. Осипов, М. Н. Филимонова // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 160-162.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\534564
Ключевые слова: тонкопленочные структуры
тонкая алюминевая пленка
тонкие пленки алюминия
рост тонких пленок
компьютерное моделирование
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-160-162.pdf68.71 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.