Отрывок: Проводится численное моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры. В результате проведенных чис­ ленных экспериментов получены следующие результаты: значения нерав­ номерностей толщины пленки и плотностей границ зерен, полученные из численных экспериментов, колебались, в зависимости от условий роста, от ±14,1% до ±28,85% и от 0,037 до 0,071 соответственно. Удел...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorОсипов А. Н.ru
dc.contributor.authorФилимонова М. Н.ru
dc.coverage.spatialтонкопленочные структурыru
dc.coverage.spatialтонкая алюминевая пленкаru
dc.coverage.spatialтонкие пленки алюминияru
dc.coverage.spatialрост тонких пленокru
dc.coverage.spatialкомпьютерное моделированиеru
dc.creatorОсипов А. Н., Филимонова М. Н.ru
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\534564ru
dc.identifier.citationОсипов, А. Н. Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры / А. Н. Осипов, М. Н. Филимонова // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 160-162.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г.ru
dc.titleМоделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структурыru
dc.typeTextru
dc.citation.epage162ru
dc.citation.spage160ru
dc.textpartПроводится численное моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры. В результате проведенных чис­ ленных экспериментов получены следующие результаты: значения нерав­ номерностей толщины пленки и плотностей границ зерен, полученные из численных экспериментов, колебались, в зависимости от условий роста, от ±14,1% до ±28,85% и от 0,037 до 0,071 соответственно. Удел...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-160-162.pdf68.71 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.