Просмотр собрания по группе - Авторы Zhikharev, E.
Результаты 2 по 2 из 2
< назад
Год издания | Название | Автор(ы) | Экспорт |
---|---|---|---|
2017 | Resolution limits of the dry e-beam etching of resist for nanophotonic structure formation | Rogozhin, A.; Bruk, M.; Zhikharev, E.; Sidorov, F.; Streltsov, D. |