Отрывок: омаксминск.оск fССfC  1 , (4) где Сп, Сск, г/см 2 – концентрации атомно-молекулярных загрязнений, соответствующие коэффициентам трения покоя и скольжения; m, B – эмпирические константы; fмакс, fмин – максимальный и минимальный коэффициент трения покоя; fск.о – коэффициент трения скольжения в относительных величинах; Смин, Смакс – предельные значения концентраций атомно-молекулярных загрязнений. Информационные технологии и нанотехнологии-...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorИвлиев, Н.А.-
dc.contributor.authorКолпаков, В.А.-
dc.contributor.authorЛукичев, Д.С.-
dc.date.accessioned2016-12-08 15:48:44-
dc.date.available2016-12-08 15:48:44-
dc.date.issued2016-
dc.identifierDspace\SGAU\20161208\60645ru
dc.identifier.citationМатериалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 204-209ru
dc.identifier.isbn978-5-7883-1078-7-
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Tribometricheskoe-ustroistvo-ekspresskontrolya-chistoty-poverhnosti-podlozhek-60645-
dc.description.abstractПредставлено трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации органических загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек в диапазоне 5·10^-10 – 10^-7 г/см2 и основанное на измерении коэффициентов трения покоя и скольжения между исследуемыми поверхностями.ru
dc.language.isorusru
dc.publisherИздательство СГАУru
dc.subjectтрибометрическое устройствоru
dc.subjectконтроль степени чистотыru
dc.subjectповерхностьru
dc.titleТрибометрическое устройство экспресс-контроля чистоты поверхности подложекru
dc.typeArticleru
dc.textpartомаксминск.оск fССfC  1 , (4) где Сп, Сск, г/см 2 – концентрации атомно-молекулярных загрязнений, соответствующие коэффициентам трения покоя и скольжения; m, B – эмпирические константы; fмакс, fмин – максимальный и минимальный коэффициент трения покоя; fск.о – коэффициент трения скольжения в относительных величинах; Смин, Смакс – предельные значения концентраций атомно-молекулярных загрязнений. Информационные технологии и нанотехнологии-...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
204-209.pdfОсновная статья562.61 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.