Поиск


Текущие фильтры:
Начать новый поиск
Добавить фильтры:

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.


Результаты 1-3 из 3.
  • назад
  • 1
  • дальше
Найденные ресурсы:
Год издания Название Автор(ы)
2013Разновидности систем плазменного травления и их особенностиВолков А. В.; Министерство образования и науки Российской Федерации; Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет) (СГАУ)
2013Исследование технологических режимов плазменного ионно-химического травления на установке "Caroline PE15"Волков А. В.; Министерство образования и науки Российской Федерации; Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет) (СГАУ)
2002Методы и экспериментальные установки формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов видимого и инфракрасного диапазонов волнВолков А. В.; Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева