Отрывок: Однако обычный металлический затвор, который в транзисторах, как правило, изготавливается из алюминия, не может служить элементом маскирования. Так как температура плавления алюминия порядка 660ºС, а при любом способе легирования областей температура термообработки выше [16]. Поэтому исторически первым способом, позволившим выполнить так называемое самосовмещение затвора и канала стала технология с поликремневыми затворами, которая по...
Название : | Визуализация технологического процесса изготовления МОП транзистора с изолированным затвором и индуцированным каналом |
Авторы/Редакторы : | Соколов Р. А. Архипов А. В. Шишкина Д. А. Министерство науки и высшего образования Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт информатики математики и электроники |
Дата публикации : | 2021 |
Библиографическое описание : | Соколов, Р. А. Визуализация технологического процесса изготовления МОП транзистора с изолированным затвором и индуцированным каналом : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Р. А. Соколов ; рук. работы А. В. Архипов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, м. - Самара, 2021. - on-line |
Аннотация : | Разработана обучающая программа для изучения технологического маршрута производства МОП транзистора с индуцированным каналом и самосовмещенным затвором составлен итоговый тест, и обучающий виртуальный эксперимент для закрепления результатов изучения. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20210914152346 |
Ключевые слова: | визуализация технологических процессов изолированные затворы индуцированные каналы МОП транзисторы самосовмещенные затворы технологические процессы |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Соколов_Роман_Александрович_Визуализация_технологического_процесса_изготовления.pdf | 1.25 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.