Отрывок: Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 11. Рисунок 11 – Схема плазмохимического травления Основными рабочими параметрами, определяющими характеристики процесса плазменного травления, являются: 30 1. Мощность, вкладываемая в разряд; 2. Рабочее давление; 3. Расход газа и способ его подвода к обрабатываемой поверхно...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorИванова А. С.ru
dc.contributor.authorПавельев В. С.ru
dc.contributor.authorШишкина Д. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Россииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialгенетический алгоритмru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialмногопорядковый двумерный делитель пучкаru
dc.coverage.spatialстохастическая оптимизацияru
dc.coverage.spatialэнергетическая эффективностьru
dc.creatorИванова А. С.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210913164921ru
dc.identifier.citationИванова, А. С. Стохастическая оптимизация и исследование многопорядкового двумерного делителя пучка : вып. квалификац. работа по по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. С. Иванова ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; Минобрнауки России. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т эл. - Самара, 2021. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования являются методы создания многопорядковых делителей лазерного пучка. Цель работы –стохастическая оптимизация и исследование многопорядкового бинарного делителя 7х7 пучка. Задачи: 1.Анализ методов расчета дифракционных делителей пучка; 2.Анализ технологий изготовления дифракционных делителей пучка; 3. Оптимизация многопорядкового бинарного делителя 7х7 пучка; 4. Исследование многопорядкового бинарного делителя 7х7 пучка. Рассчитан и исследован методами компьютерного моделирования и оптического эксперимента дифракционный делитель 7х7 пучка . Результаты численного моделирования и экспериментального исследования находятся во взаимном качественном соответствии.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,9 Мб)ru
dc.titleСтохастическая оптимизация и исследование многопорядкового двумерного делителя пучкаru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpartДля разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Схема плазмохимического травления представлена на рисунке 11. Рисунок 11 – Схема плазмохимического травления Основными рабочими параметрами, определяющими характеристики процесса плазменного травления, являются: 30 1. Мощность, вкладываемая в разряд; 2. Рабочее давление; 3. Расход газа и способ его подвода к обрабатываемой поверхно...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Иванова_Анастасия_Сергеевна_Стохастическая_оптимизация_исследование.pdf1.93 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.