Отрывок: 15 а) б) в) а – сканирование б – контактная печать в – проекционная печать Рисунок 5 – Методы экспонирования фоторезиста Поскольку первый и третий методы являются дорогостоящими и требуют сложных установок с высокой производительностью, то в данной работе использовался более простой метод – контактная печать. Перенос рисунка ДОЭ в поверхностный слой подложки мет...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Сафронова М. С. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Хонина С. Н. | ru |
dc.contributor.author | Саноян А. Г. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт электроники и приборостроения | ru |
dc.contributor.author | Кафедра наноинженерии | ru |
dc.coverage.spatial | модан | ru |
dc.coverage.spatial | моды Гаусса-Эрмита | ru |
dc.coverage.spatial | ик - диапазон | ru |
dc.coverage.spatial | quick -doe | ru |
dc.coverage.spatial | преобразования мод | ru |
dc.coverage.spatial | программное обеспечение | ru |
dc.coverage.spatial | технология фотолитографии | ru |
dc.creator | Сафронова М. С. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190429144700 | ru |
dc.identifier.citation | Сафронова, М. С. Создание и исследование элемента микрооптики инфракрасного диапазона, формирующего одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,0) [Электронный ресурс] : вып. квалификац. работа по специальности. "Электроника и наноэлектроника" / М. С. Сафронова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Н. Хонина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования является бинарный фазовый элемент,формирующий одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,0).Цель работы – создание и исследование элемента микрооптики,формирующего одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,1) лазерного излучения инфракрасного диапа | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,7 Мб) | ru |
dc.title | Создание и исследование элемента микрооптики инфракрасного диапазона, формирующего одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,0) | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | 15 а) б) в) а – сканирование б – контактная печать в – проекционная печать Рисунок 5 – Методы экспонирования фоторезиста Поскольку первый и третий методы являются дорогостоящими и требуют сложных установок с высокой производительностью, то в данной работе использовался более простой метод – контактная печать. Перенос рисунка ДОЭ в поверхностный слой подложки мет... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Сафронова_Мария_Сергеевна_Создание_исследование_элемента.pdf | 1.72 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.