Отрывок: 15 а) б) в) а – сканирование б – контактная печать в – проекционная печать Рисунок 5 – Методы экспонирования фоторезиста Поскольку первый и третий методы являются дорогостоящими и требуют сложных установок с высокой производительностью, то в данной работе использовался более простой метод – контактная печать. Перенос рисунка ДОЭ в поверхностный слой подложки мет...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorСафронова М. С.ru
dc.contributor.authorПавельев В. С.ru
dc.contributor.authorХонина С. Н.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут электроники и приборостроенияru
dc.contributor.authorКафедра наноинженерииru
dc.coverage.spatialмоданru
dc.coverage.spatialмоды Гаусса-Эрмитаru
dc.coverage.spatialик - диапазонru
dc.coverage.spatialquick -doeru
dc.coverage.spatialпреобразования модru
dc.coverage.spatialпрограммное обеспечениеru
dc.coverage.spatialтехнология фотолитографииru
dc.creatorСафронова М. С.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190429144700ru
dc.identifier.citationСафронова, М. С. Создание и исследование элемента микрооптики инфракрасного диапазона, формирующего одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,0) [Электронный ресурс] : вып. квалификац. работа по специальности. "Электроника и наноэлектроника" / М. С. Сафронова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Н. Хонина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. - Самара, 2018. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является бинарный фазовый элемент,формирующий одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,0).Цель работы – создание и исследование элемента микрооптики,формирующего одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,1) лазерного излучения инфракрасного диапаru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,7 Мб)ru
dc.titleСоздание и исследование элемента микрооптики инфракрасного диапазона, формирующего одномодовый пучок Гаусса-Эрмита (1,0)ru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpart15 а) б) в) а – сканирование б – контактная печать в – проекционная печать Рисунок 5 – Методы экспонирования фоторезиста Поскольку первый и третий методы являются дорогостоящими и требуют сложных установок с высокой производительностью, то в данной работе использовался более простой метод – контактная печать. Перенос рисунка ДОЭ в поверхностный слой подложки мет...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.