Отрывок: 16 Рисунок 7 – Шаговый двигатель 17HS4401 Данный двигатель имеет точность вращения, равную 1.8 град/шаг, крутящий момент составляет 40 Н/см. Для установки шаговых двигателей на координатный стол были разработаны и распечатаны 3D- модели креплений (рисунок 8). Рисунок 8 – 3D-модели креплений шаговых двигателей 17 Для передачи вращающего момента шаговых двигателей на шпильку координатного стола (передача типа «винт-гайк...
Название : Разработка системы лазерной записи по фоторезисту
Авторы/Редакторы : Комаров А. В.
Агафонов А. Н.
Угланов Д. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2018
Библиографическое описание : Комаров, А. В. Разработка системы лазерной записи по фоторезисту : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. В. Комаров ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Д. А. Угланов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2018. - on-line
Аннотация : Данная работа посвящена разработке конструкции и изготовлению установки для выполнения безмасковой лазерной литографии, используемой при создании устройств микросистемной техники и микрофлюидных систем с характерными размерами структур более 50 мкм
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718132222
Ключевые слова: безмасковая лазерная литография
микросистемная техника
микрофлюидные системы
лазерная литография
прямая лазерная запись
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Комаров_Антон_Вячеславович_Разработка_системы_лазерной_записи.pdf2.17 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.