Отрывок: Зачастую в качестве пластин используется оптическое стекло. Такие фотошаблоны называются жесткими. Так же бывают гибкие фотошаблоны, изготовленные на фотопленке. При наличии современных фоторезистов и отработанной технологии качество фотолитографии во многом определяется качеством фотошаблонов, а производство их является в настоящее время одним из наиболее сложных процессов, связанных с фотолитографией. Трудности в изготовлении фотошаб...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАблогина А. А.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorХонина С. Н.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialмикрорельефru
dc.coverage.spatialизлучение инфракрасного диапазонаru
dc.coverage.spatialдифракция светаru
dc.coverage.spatialдифракционная эффективностьru
dc.coverage.spatialлинзы Френеляru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.creatorАблогина А. А.ru
dc.date.issued2018ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180718135001ru
dc.identifier.citationАблогина, А. А. Расчет, изготовление и исследование линзы Френеля инфракрасного диапазона : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. А. Аблогина ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. Н. Хонина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является технология изготовления исвойства дифракционной линзы Френеля инфракрасного диапазона.Цель работы – расчет, изготовление и исследование линзыФренеля инфракрасного диапазона.Рассчитана линза Френеля инфракрасного диапазонru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,1 Мб)ru
dc.titleРасчет, изготовление и исследование линзы Френеля инфракрасного диапазонаru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpartЗачастую в качестве пластин используется оптическое стекло. Такие фотошаблоны называются жесткими. Так же бывают гибкие фотошаблоны, изготовленные на фотопленке. При наличии современных фоторезистов и отработанной технологии качество фотолитографии во многом определяется качеством фотошаблонов, а производство их является в настоящее время одним из наиболее сложных процессов, связанных с фотолитографией. Трудности в изготовлении фотошаб...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Аблогина_Алина_Анатольевна_Расчет,_изготовление_исследование.pdf2.18 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.