Отрывок: е. М — 1 [6]. Если же применяется неравномерное травление, то, в таком случае, на каждом последующем шаге литографии субстрат подложки травится на глубину , которая равна половине предыдущей. Тогда, первому этапу будет соответствовать микрорельеф с глубиной травления ℎ𝑚𝑎𝑥/2. Величина ℎ𝑚𝑎𝑥определяется по формулам (15,16). [6] Таким образом можно отметить, что дихотомическим методом можно определить на каждом шаге как глубину травления микрорельефа, так и сам принцип синтеза ...
Название : Расчет, изготовление и исследование фокусатора инфракрасного излучения в кольцо
Авторы/Редакторы : Синицына А. К.
Павельев В. С.
Саноян А. Г.
Минобрнауки России
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Синицына, А. К. Расчет, изготовление и исследование фокусатора инфракрасного излучения в кольцо : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / А. К. Синицына ; рук. работы В. С. Павельев ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки Рос. Федерации [России], Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики. - Самаpа, 2019. - on-line
Аннотация : Расчет, изготовление и исследование дифракционного оптического элемента (фокусатора), формирующего заданное распределение интенсивности света в виде кольца из освещающего гауссова пучка СО2-лазера. С помощью ПО Quick-DOE производился расчет ДОЭ, предназна
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190808102407
Ключевые слова: дифракционный оптический элемент
фокусатор в кольцо
плазмохимическое травление
ИК-диапазон
квантование фазы
гауссов пучок
микрорельеф
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Синицына_Анастасия_Константиновна_Расчет,_изготовление_исследование.pdf2.83 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.