Отрывок: 2.3 Позитивный и негативный фоторезисты В позитивных фоторезистах, проэкспонированные области становятся растворимыми и после проявления разрушаются. Такие фоторезисты, как правило, позволяют получать более высокие разрешения нежели негативные, но стоят дороже. В негативных фоторезистах, проэкспонированные области полимеризуются и становятся нерастворимыми, так что после проявления растворяются только не проэкспонированные области. Н...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorБерещук Е. С.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.contributor.authorМинобрнауки Россииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialамплитудные маскиru
dc.coverage.spatialизлучение инфракрасного диапазонаru
dc.coverage.spatialФОКУСАТОРЫru
dc.coverage.spatialфотошаблоныru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.coverage.spatialдифракция светаru
dc.coverage.spatialвысота микрорельефаru
dc.creatorБерещук Е. С.ru
dc.date.issued2019ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190808104313ru
dc.identifier.citationБерещук, Е. С. Расчет, изготовление и исследование фокусатора ИК-излучения в точку : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень академического бакалавриата) / Е. С. Берещук ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является фокусатор ИК излучения в точку. Цель работы− расчет, изготовление и исследование фокусатора ИК излучения в точку. В ходе выполнения лабораторной работы была рассчитана амплитудная маска для фокусатора и изготовлен фотошаблонru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,3 Мб)ru
dc.titleРасчет, изготовление и исследование фокусатора ИК-излучения в точкуru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpart2.3 Позитивный и негативный фоторезисты В позитивных фоторезистах, проэкспонированные области становятся растворимыми и после проявления разрушаются. Такие фоторезисты, как правило, позволяют получать более высокие разрешения нежели негативные, но стоят дороже. В негативных фоторезистах, проэкспонированные области полимеризуются и становятся нерастворимыми, так что после проявления растворяются только не проэкспонированные области. Н...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Берещук_Екатерина_Сергеевна_Расчет,_изготовление_исследование.pdf1.31 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.