Отрывок: В процессе проявления части фоторезиста удаляются специальной жидкостью — проявителем (УПФ-1Б), формируя окна в плѐнке фоторезиста. В случае проявления негативных фоторезистов происходит растворение неэкспонированных участков, а при проявлении позитивных — растворение экспонированных участков [18]. Так как используемый фоторезист ФП-3520 является позитивным, в нашем случае проявителем удаляется проэкспонированная область. Каждый фоторезист проявляется определѐнным видо...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кудряшов Д. В. | ru |
dc.contributor.author | Павельев В. С. | ru |
dc.contributor.author | Хонина С. Н. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт информатики | ru |
dc.contributor.author | математики и электроники | ru |
dc.coverage.spatial | дифракционные оптические элементы | ru |
dc.coverage.spatial | вращающиеся пучки | ru |
dc.coverage.spatial | фазовые функции оптических элементов | ru |
dc.coverage.spatial | фотолитография | ru |
dc.coverage.spatial | численное моделирование | ru |
dc.coverage.spatial | спиральные зонные пластинки | ru |
dc.creator | Кудряшов Д. В. | ru |
dc.date.issued | 2018 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20180718143308 | ru |
dc.identifier.citation | Кудряшов, Д. В. Расчет, изготовление и исследование элемента, формирующего вращающийся пучок лазерного излучения инфракрасного диапазона : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. В. Кудряшов ; рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Н. Хонина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элек. - Самара, 2018. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются вращающиеся лазерные пучки.Цель работы – расчет, моделирование, изготовление и исследование элемента, формирующего вращающийся пучок лазерного излучения инфракрасного диапазона. В результате работы проведен расчет, моделиро | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 2,3 Мб) | ru |
dc.title | Расчет, изготовление и исследование элемента, формирующего вращающийся пучок лазерного излучения инфракрасного диапазона | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.31 | ru |
dc.subject.udc | 535.42 | ru |
dc.textpart | В процессе проявления части фоторезиста удаляются специальной жидкостью — проявителем (УПФ-1Б), формируя окна в плѐнке фоторезиста. В случае проявления негативных фоторезистов происходит растворение неэкспонированных участков, а при проявлении позитивных — растворение экспонированных участков [18]. Так как используемый фоторезист ФП-3520 является позитивным, в нашем случае проявителем удаляется проэкспонированная область. Каждый фоторезист проявляется определѐнным видо... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кудряшов_Дмитрий_Викторович_Расчет,_изготовление_исследование.pdf | 2.36 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.