Отрывок: 25 2 Приборы и техника эксперимента 2.1 Технология изготовления МДП-структур с фторсодержащими диэлектриками на различных полупроводниковых подложках Термическое резистивное испарение в вакууме является основным технологическим методом получения пленок фторидов РЗЭ. Испарение происходит при довольно высокой температуре, связанной с необходимостью обеспечения необходимого давления паров, из молибденовой или танталово...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кропотов М. С. | ru |
dc.contributor.author | Шалимова М. Б. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки России | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Естественнонаучный институт | ru |
dc.coverage.spatial | электрофизические свойства | ru |
dc.coverage.spatial | фторосодержащие диэлектрики | ru |
dc.coverage.spatial | полупроводниковые устройства | ru |
dc.coverage.spatial | поверхностные явления | ru |
dc.coverage.spatial | германий | ru |
dc.coverage.spatial | соединения редкоземельных элементов | ru |
dc.coverage.spatial | МДП-структуры | ru |
dc.coverage.spatial | монокристаллические подложки германия | ru |
dc.coverage.spatial | транзисторы | ru |
dc.creator | Кропотов М. С. | ru |
dc.date.issued | 2019 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20191218142345 | ru |
dc.identifier.citation | Кропотов, М. С. Методы оптимизации свойств МДП-структур с фторсодержащими диэлектриками : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 03.03.02 "Физика" (уровень бакалавриата) / М. С. Кропотов ; рук. работы М. Б. Шалимова ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Физ. фак-т, Каф. физики тверд. тела и неравновес. систем. - Самара, 2019. - on-line | ru |
dc.description.abstract | Объектом исследования данной выпускной квалификационной работы являются МДП-структуры с диэлектрическим слоем фторида тулия. Целью работы является анализ методов оптимизации свойств МДП-структур и устройств на их основе и исследование изменения параметров германиевых МДП-структур с диэлектрическим слоем фторида тулия под действием электрических полей.В качестве экспериментальных образцов использовались фторсодержащие диэлектрические пленки на монокристаллических подложках германия, подвергнутые различной химической обработке. Измерены высокочастотные вольт-фарадные характеристики получившихся МДП-структур с последующей оценкой и анализом влияния воздействия электрических полей на деградацию их параметров.Установлено, что подбор травителя соответствующего состава для обработки поверхности германия можно использовать в качестве метода контроля зарядового состояния МДП – структуры. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 1,5 Мб) | ru |
dc.title | Методы оптимизации свойств МДП-структур с фторсодержащими диэлектриками | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.01 | ru |
dc.subject.udc | 537.31 | ru |
dc.textpart | 25 2 Приборы и техника эксперимента 2.1 Технология изготовления МДП-структур с фторсодержащими диэлектриками на различных полупроводниковых подложках Термическое резистивное испарение в вакууме является основным технологическим методом получения пленок фторидов РЗЭ. Испарение происходит при довольно высокой температуре, связанной с необходимостью обеспечения необходимого давления паров, из молибденовой или танталово... | - |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Кропотов_Михаил_Сергеевич_Методы_оптимизации_свойств.pdf | 1.53 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.