Отрывок: Это связано с тем, что: во-первых, данный процесс сухой, количество загрязнений, попадающих на поверхность меньше, то есть не требуется дополнительных затрат на сушку и очистку от продуктов реакции; во-вторых, реагенты более безвредны, не воспламеняются; в-третьих, данный процесс автоматизирован, и включает в себя возможность совмещения в одном объеме нескольких технологических операций. Кроме того сухое травление обеспечивает более высокую разрешающую способность, в отличие от ж...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГзиришвили Л. Г.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorШишкина Д. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialBOSCH процессыru
dc.coverage.spatialинтерферометрия белого светаru
dc.coverage.spatialмягкие маскиru
dc.coverage.spatialсухое травление кремнияru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.creatorГзиришвили Л. Г.ru
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20210914154156ru
dc.identifier.citationГзиришвили, Л. Г. Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / Л. Г. Гзиришвили ; рук. работы С. И. Харитонов ; нормоконтролер Д. А. Шишкина ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информати. - Самара, 2021. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является реактивно-ионное травление кремниячерез мягкие маски на основе фоторезистов марки ФП-3520 и ФП-051 КИ.Цель работы – исследование особенности и селективности сухоготравления кремния с использованием мягких масок.Рассмотрены достоинства и недостатки предложенных марокфоторезистов. Исследовано влияние технологических параметровизотропного травления и Bosch-процесса на селективность мягких масок.В результате работы был произведен обзор литературы методовлитографии, сухого травления, измерения глубины травления и толщинымаски. Были произведены фотолитографические процессы, плазмохимическоетравление исследуемых мягких масок, выполнены измерения глубинытравления и толщины масок. Проведен анализ полученных результатов иполучены зависимости скоростей травления от параметров процесса. Такжебыли исследованы особенности предложенных маскирующих покрытий.Практическая ценность работы заключается в возможности дальнейшейоптимизации параметров Bosch-процесса при изменении глобальru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 10,5 Мб)ru
dc.titleИсследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масокru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.03ru
dc.subject.udc621.794.4ru
dc.textpartЭто связано с тем, что: во-первых, данный процесс сухой, количество загрязнений, попадающих на поверхность меньше, то есть не требуется дополнительных затрат на сушку и очистку от продуктов реакции; во-вторых, реагенты более безвредны, не воспламеняются; в-третьих, данный процесс автоматизирован, и включает в себя возможность совмещения в одном объеме нескольких технологических операций. Кроме того сухое травление обеспечивает более высокую разрешающую способность, в отличие от ж...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Гзиришвили_Лука_Георгиевич_Исследование_особенностей_селективности.pdf10.74 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.