Отрывок: Вся дополировка производилась вручную в течение 5-10 минут. Внешний вид поверхности пластин из нержавеющей стали после полировки приведен на рис. 3.7. 27 Рисунок 3.7 - Пластины из нержавеющей стали после полировки Контроль плоскостности проводился при помощи цифрового интерферометрического комплекса Verifire (Zygo, Германия) (рис. 3.8) для кремневой пластины и с помощью интерференционной пластины для элемента из нержавеющей стали. На рисунке 3.9 можно увидеть результа...
Название : | Исследование методов расчета и изготовления элементов микросистемной техники |
Авторы/Редакторы : | Давыденко В. В. Павельев В. С. Шишкин С. А. Саноян А. Г. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) |
Дата публикации : | 2017 |
Библиографическое описание : | Давыденко, В. В. Исследование методов расчета и изготовления элементов микросистемной техники : вып. квалификац. работа магистра по направлению "Прикладные математика и физика" / В. В. Давыденко ; рук. работы В. С. Павельев ; рец. С. А. Шишкин ; нормоконтролѐр А. Г. Саноян ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева , Ин-т информатик. - Самаpа, 2017. - on-line |
Аннотация : | Объектом исследования являются элементы микросистемной техники – микрофлюидные газохроматографические колонки и дифракционные элементы инфракрасного (ИК) диапазона.Цели работы: • Создание компактных колонок для быстрого газохроматографического анализа на основе методов микрофлюидики; • Создание элементов микрооптики, формирующих бездифракционные пучки инфракрасного (ИК) диапазона. Разработан метод полировки пластин из кремния и нержавеющей стали с оптическим качеством для изготовления элементов микросистемной техники. Рассчитан фотошаблон бинарного дифракционного аксикона. Разработана технология изготовления отражающих элементов ИК-диапазона и изготовлен дифракционный отражающий аксикон для формирования бесселевых пучков в ИК области спектра. Проведено исследование изготовленного элемента методами численного и натурного эксперимента. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20190402141649 |
Ключевые слова: | газохромотографическая колонка литография Бесселевы пучки аксикон микрофлюидика микросистемная техника |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Давыденко_Вадим_Викторович_Исследование_методов_расчета.pdf | 2.27 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.