Отрывок: Вся дополировка производилась вручную в течение 5-10 минут. Внешний вид поверхности пластин из нержавеющей стали после полировки приведен на рис. 3.7. 27 Рисунок 3.7 - Пластины из нержавеющей стали после полировки Контроль плоскостности проводился при помощи цифрового интерферометрического комплекса Verifire (Zygo, Германия) (рис. 3.8) для кремневой пластины и с помощью интерференционной пластины для элемента из нержавеющей стали. На рисунке 3.9 можно увидеть результа...
Название : Исследование методов расчета и изготовления элементов микросистемной техники
Авторы/Редакторы : Давыденко В. В.
Павельев В. С.
Шишкин С. А.
Саноян А. Г.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Давыденко, В. В. Исследование методов расчета и изготовления элементов микросистемной техники : вып. квалификац. работа магистра по направлению "Прикладные математика и физика" / В. В. Давыденко ; рук. работы В. С. Павельев ; рец. С. А. Шишкин ; нормоконтролѐр А. Г. Саноян ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева , Ин-т информатик. - Самаpа, 2017. - on-line
Аннотация : Объектом исследования являются элементы микросистемной техники – микрофлюидные газохроматографические колонки и дифракционные элементы инфракрасного (ИК) диапазона.Цели работы: • Создание компактных колонок для быстрого газохроматографического анализа на основе методов микрофлюидики; • Создание элементов микрооптики, формирующих бездифракционные пучки инфракрасного (ИК) диапазона. Разработан метод полировки пластин из кремния и нержавеющей стали с оптическим качеством для изготовления элементов микросистемной техники. Рассчитан фотошаблон бинарного дифракционного аксикона. Разработана технология изготовления отражающих элементов ИК-диапазона и изготовлен дифракционный отражающий аксикон для формирования бесселевых пучков в ИК области спектра. Проведено исследование изготовленного элемента методами численного и натурного эксперимента.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20190402141649
Ключевые слова: газохромотографическая колонка
литография
Бесселевы пучки
аксикон
микрофлюидика
микросистемная техника
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Давыденко_Вадим_Викторович_Исследование_методов_расчета.pdf2.27 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.