Отрывок: 30 К эпитаксии без среды носителя относится осаждение в вакууме, которое, в свою очередь, делятся на 2 части: молекулярно-лучевую эпи­ таксию и термовакуумное напыление. Молекулярно-лучевая эпитаксия протекает при относительно низкой температуре подложки, в условиях вакуума, что позволяет полу­ чать чистые плёнки, а ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorОсипов, А.Н.-
dc.contributor.authorАрхипов, А.В.-
dc.date.accessioned2017-10-26 12:25:53-
dc.date.available2017-10-26 12:25:53-
dc.date.issued2004-
dc.identifierDspace\SGAU\20170921\65391ru
dc.identifier.citationОсипов, А. Н. Анализ методов формирования квазимонокристаллических металлических пленок / А. Н. Осипов, А. В. Архипов // Актуальные проблемы радиоэлектроники / Самар. гос. аэрокосм. ун-т. – Самара : СГАУ, 2004. – Вып. 9. – С. 26-33.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Vestnik-SGAU-Aktualnye-problemy-radioelektroniki/Analiz-metodov-formirovaniya-kvazimonokristallicheskih-metallicheskih-plenok-65391-
dc.language.isorusru
dc.publisherСГАУru
dc.subjectквазимонокристаллические плёнкиru
dc.subjectэпитаксияru
dc.subjectискусственная эпитаксияru
dc.titleАнализ методов формирования квазимонокристаллических металлических пленокru
dc.typeArticleru
dc.textpart30 К эпитаксии без среды носителя относится осаждение в вакууме, которое, в свою очередь, делятся на 2 части: молекулярно-лучевую эпи­ таксию и термовакуумное напыление. Молекулярно-лучевая эпитаксия протекает при относительно низкой температуре подложки, в условиях вакуума, что позволяет полу­ чать чистые плёнки, а ...-
dc.classindex.udc539.216-
Располагается в коллекциях: Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
apr_2004_5.pdfОсновная статья3.81 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.