Отрывок: 30 К эпитаксии без среды носителя относится осаждение в вакууме, которое, в свою очередь, делятся на 2 части: молекулярно-лучевую эпи таксию и термовакуумное напыление. Молекулярно-лучевая эпитаксия протекает при относительно низкой температуре подложки, в условиях вакуума, что позволяет полу чать чистые плёнки, а ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Осипов, А.Н. | - |
dc.contributor.author | Архипов, А.В. | - |
dc.date.accessioned | 2017-10-26 12:25:53 | - |
dc.date.available | 2017-10-26 12:25:53 | - |
dc.date.issued | 2004 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20170921\65391 | ru |
dc.identifier.citation | Осипов, А. Н. Анализ методов формирования квазимонокристаллических металлических пленок / А. Н. Осипов, А. В. Архипов // Актуальные проблемы радиоэлектроники / Самар. гос. аэрокосм. ун-т. – Самара : СГАУ, 2004. – Вып. 9. – С. 26-33. | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Vestnik-SGAU-Aktualnye-problemy-radioelektroniki/Analiz-metodov-formirovaniya-kvazimonokristallicheskih-metallicheskih-plenok-65391 | - |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | СГАУ | ru |
dc.subject | квазимонокристаллические плёнки | ru |
dc.subject | эпитаксия | ru |
dc.subject | искусственная эпитаксия | ru |
dc.title | Анализ методов формирования квазимонокристаллических металлических пленок | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | 30 К эпитаксии без среды носителя относится осаждение в вакууме, которое, в свою очередь, делятся на 2 части: молекулярно-лучевую эпи таксию и термовакуумное напыление. Молекулярно-лучевая эпитаксия протекает при относительно низкой температуре подложки, в условиях вакуума, что позволяет полу чать чистые плёнки, а ... | - |
dc.classindex.udc | 539.216 | - |
Располагается в коллекциях: | Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
apr_2004_5.pdf | Основная статья | 3.81 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.