Отрывок: Аналогично, тепловыделяющие ЭРЭ эквивалентны источникам тока, рассеиваемая тепловая мощность - электрическому току, а температуры в некоторых точках тепловых цепей - электрическим потенциалам (таблица 2) [23]. 22 Таблица 2 – Аналоги электрических и тепловых величин Электрическая цепь Тепловая цепь Наименовани е Обозначени е, формульны й вид Единиц а измере ния Наименовани е Обозначени е, формульны й вид Единица измерен ия У...
Название : Разработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5
Авторы/Редакторы : Кочетков Д. В.
Архипов А. В.
Лофицкий И. В.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Кочетков, Д. В. Разработка контактного нагревателя подложек с системой управления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5 : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. В. Кочетков ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Объектом исследования является контактный нагреватель подложек дляустановки термовакуумного напыления.Цель работы – разработка контактного нагревателя подложек с системойуправления для установки термовакуумного напыления на основе ВУП-5.В данной работе рассмотрены варианты исполнения и материалы дляизготовления системы нагрева подложек. Для создания нагревателя быларазработана система, включающая в себя керамические и металлическиепластины и нихромовую фольгу. Нагрев образцов происходит за счетомического нагрева, путем накала нихромовой фольги, посредствомпропускания через нее электрического тока. Управление системойпроизводится посредством ПИД-регулятора ТРМ151-01 с термопарой типаТП-0188/2-1.В разработанном проекте использованы следующие установки иустройства: пост вакуумный универсальный ВУП-5, программныйизмеритель-регулятор ТРМ151-01.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171215113855
Ключевые слова: системы нагрева подложек
контактные нагреватели
термовакуумное испарение
термовакуумное напыление
тепловые модели
программные измерители-регуляторы
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.