Отрывок: Таким образом, 22 размером области с протонным обменом в 3LiNbO можно умело манипулировать. Поскольку область, где происходит протонный обмен, может быть удалена с использованием смеси кислот HF / 3HNO , предлагаемый способ жидкостного травления может эффективно регулировать форму протравленной области в подложке 3LiNbO . Гладкая поверхность вертикальной стенки создается при соответствующих параметрах электрода и области, где происходит...
Название : Плазмохимическое травление нелинейных оптических материалов
Авторы/Редакторы : Кручинин М. С.
Володкин Б. О.
Братченко И. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Кручинин, М. С. Плазмохимическое травление нелинейных оптических материалов : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / М. С. Кручинин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Ниобат лития обладает уникальной совокупностью электрических, оптических и других свойств, что делает его одним из самых перспективных материалов для создания устройств функциональной электроники, микросистемной техники и нелинейной оптики. Однако трудности его размерной обработки в значительной мере сдерживают изготовление приборов на его основе. Поэтому представляет интерес изучение механизмов плазмохимического травления ниобата лития для получения в его объеме микро и наноструктур. Цель работы - разработка методов травления нелинейных оптических материалов, таких как ниобат лития. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: Подготовка литературного обзора по существующим методам травления ниобата лития и карбоната кальция. Подбор подходящих методов травления ниобата лития. Отработка технологических режимов травления ниобата лития и карбоната кальция.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180202161337
Ключевые слова: плазмохимическое травление
карбонат кальция
ниобат лития
нелинейные оптические материалы
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Кручинин_Михаил_Сергеевич_Плазмохимическое_травление_нелинейных_оптических.pdf956 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.