Отрывок: Рисунок 6 – Результат измерения профиля микрорельефа после плазмохимического травления 19 Как видно, после вычитания из результатов измерения толщины маски, имеет место «перетрав» около 100 нм. В качестве отражающего материала была выбрана медь. Для ее нанесения также, как и для алюминия, использовалась установка магнетронного распыления ЭТНА 100-МТ (см. рисунок 4) в НОЦ НТ СГАУ. Однако из-за плохой адг...
Название : Оптическая система для измерения энергетическойэффективности дифракционных оптических элементов : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника"
Авторы/Редакторы : Терёхин И. С.
Меженин А. В.
Гришанов В. Н.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт электроники и приборостроения
Дата публикации : 2016
Библиографическое описание : Терёхин, И. С. Оптическая система для измерения энергетическойэффективности дифракционных оптических элементов : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / И. С. Терёхин ; рук. работы А. В. Меженин; рец. В. Н. Гришанов, л. и. каф. ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приб. - Самара, 2016. - on-line
Аннотация : Объектом исследования является дифракционный оптический элемент – фазовая цилиндрическая линза с бинарным микрорельефом.Цель работы – создание оптической системы для измерения энергетической эффективности дифракционных оптических элементов.При расчете о
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/VKR/Opticheskaya-sistema-dlya-izmereniya-energeticheskoieffektivnosti-difrakcionnyh-opticheskih-elementov-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-59097
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20160914151507
Ключевые слова: бинарные цилиндрические отражающие линзы
газовые лазеры
двухлинзовый коллиматор
дифракционные оптические элементы (ДОЭ)
оптические системы
цилиндрическая линза
энергетическая эффективность
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Терёхин_Игорь_Сергеевич_Оптическая_система_измерения.pdf2.09 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.