Отрывок: При дальнейшем увеличении расхода газа наступает такой момент, когда химически активные частицы будут уноситься потоком газа и откачиваться, не успев вступить в реакцию с обрабатываемым материалом. Следователь...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorВолков А. В.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет) (СГАУ)ru
dc.coverage.spatialплазменое травлениеru
dc.creatorВолков А. В.ru
dc.date.issued2013ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/621.792/В 676-766894ru
dc.identifier.citationВолков, А. В. Разновидности систем плазменного травления и их особенности [Электронный ресурс] : электрон. учеб.-метод. пособие / А. В. Волков ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) (СГАУ). - Самара, 2013. - on-lineru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ(электрон. версия).ru
dc.description.abstractРассмотрены вопросы исследования и выбора технологических режимов плазменного ионно-химического травления при использовании установки “Caroline PE15”. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для подготовки магистров направления 010900.68 «Прru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.ru
dc.format.extentЭлектрон. текстовые и граф. дан. (1 файл : 298 Кбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofРазновидности систем плазменного травления и их особенности [Электронный ресурс] : электрон. учеб.-метод. пособиеru
dc.titleРазновидности систем плазменного травления и их особенностиru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.03ru
dc.subject.udc621.792(075)ru
dc.textpartПри дальнейшем увеличении расхода газа наступает такой момент, когда химически активные частицы будут уноситься потоком газа и откачиваться, не успев вступить в реакцию с обрабатываемым материалом. Следователь...-
Располагается в коллекциях: Учебные издания

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Волков А.В. Разновидности систем.pdffrom 1C298.8 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.