Отрывок: С этой точки зрения вьппеописан- ный метод, безусловно, предпочтителен для отработки техпроцесса, но для экспресс-контроля, для упрощения и увеличения производительности вполне применим упрощенный способ определения загрязнения поверхности подло­ жек по площади растекания калиброванной капли жидкости на исследуемой поверхности, т.е. критерием степени чист...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorВолков А. В.ru
dc.contributor.authorСаноян А. Г.ru
dc.contributor.authorБородин С. А.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorФедеральное агентство по образованиюru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.coverage.spatialгеомерические характеристики микрорельефа ДОЭru
dc.coverage.spatialмикрорельеф ДОЭru
dc.coverage.spatialдискретизацияru
dc.coverage.spatialдифракционная оптикаru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialквантованиеru
dc.coverage.spatialоперацииru
dc.coverage.spatialметоды контроляru
dc.coverage.spatialконтрольru
dc.coverage.spatialметод растровой электронной микроскопииru
dc.coverage.spatialструктура конструкционных материаловru
dc.coverage.spatialподготовка поверхности подложкиru
dc.coverage.spatialпокрытияru
dc.coverage.spatialтехнология формирования фазового микрорельефаru
dc.coverage.spatialтехнологический контрольru
dc.coverage.spatialсканирующий зондовый микроскопru
dc.coverage.spatialсоздание микрорельефа ДОЭru
dc.coverage.spatialрастровый электронный микроскопru
dc.coverage.spatialстепень чистоты диэлектрических оснований ДОЭru
dc.creatorВолков А. В., Саноян А. Г., Бородин С. А., Агафонов А. Н.ru
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:5/О-224-881934ru
dc.identifier.citationОборудование и методы контроля микрорельефа дифракционных оптических элементов [Электронный ресурс] : [учеб. пособие / А. В. Волков и др.] ; Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева. - Самара : [Изд-во СГАУ], 2007. - on-line. - ISBN = 978-5-7883-0627-8ru
dc.identifier.isbn978-5-7883-0627-8ru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobatru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,52 Мбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.publisher[Изд-во СГАУ]ru
dc.relation.isformatofОборудование и методы контроля микрорельефа дифракционных оптических элементов [Текст] : [учеб. пособиеru
dc.titleОборудование и методы контроля микрорельефа дифракционных оптических элементовru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udcСГАУ:5(075)ru
dc.subject.udc535.8(075)ru
dc.textpartС этой точки зрения вьппеописан- ный метод, безусловно, предпочтителен для отработки техпроцесса, но для экспресс-контроля, для упрощения и увеличения производительности вполне применим упрощенный способ определения загрязнения поверхности подло­ жек по площади растекания калиброванной капли жидкости на исследуемой поверхности, т.е. критерием степени чист...-
Располагается в коллекциях: Учебные издания

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Волков А.В. Оборудование и методы.pdffrom 1C16.71 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.