Отрывок: В этой связи, в рамках рассматриваемой работы, разработаны ме­ тоды моделирования процесса химического травления, основанные на исполь­ зовании вероятностных клеточных автоматов (ВКА). Проведено компьютерное моделирование процессов химического трав­ ления кремния с учетом влияния адсорбционно-десорбционных и диффузион­ ных процессов, в результате которого получены профил...
Название : Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур
Авторы/Редакторы : Лачин М. А.
Саноян А. Г.
Дата публикации : 2005
Библиографическое описание : Лачин, М. А. Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур / М. А. Лачин ; науч. руководитель А. Г. Саноян // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 252.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\458677
Ключевые слова: радиоэлектронные средства
травление кремния
травление оксидных пленок
химическое травление
компьютерное моделирование
моделирование технологических процессов
процесс химического травления
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр. 252.pdf46.76 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.