Отрывок: Структурное совершенство получаемых пленок зависит от состава исходной мишени, параметров распыления и состояния поверхности подложки. Среди методов измерения электрофизических параметров структур карбида кремния на кремнии особый интерес представляют бесконтактные СВЧ и оптические методы, так как позволяют быстро получить информацию, необходимую для корректировки параметров процесса получения пленок. Библиографический список 1. Лучинин В., Таиро...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorТанеев А. В.ru
dc.contributor.authorЩербак А. В.ru
dc.coverage.spatialгетероструктуры SiC/Siru
dc.coverage.spatialкарбид кремния SiCru
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыленияru
dc.coverage.spatialпленки карбида кремнияru
dc.coverage.spatialэндотаксияru
dc.creatorТанеев А. В., Щербак А. В.ru
dc.date.accessioned2021-11-30 10:10:34-
dc.date.available2021-11-30 10:10:34-
dc.date.issued2021ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\471408ru
dc.identifier.citationТанеев, А. В. Электрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыления. - Текст : электронный / А. В. Танеев, А. В. Щербак // XVI Королевские чтения : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 60-летию полета в космос Ю. А. Гагарина : сб. материалов : 5-7 окт. 2021 г. : в 3 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2021. - Т. 1. - С. 375-376ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Elektrofizicheskie-parametry-geterostruktur-SICSI-poluchennyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-92987-
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofXVI Королевские чтения : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 60-летию полета в космос Ю. А. Гагарина : сб. материалов : 5-7 окт. 2021 г. : в 3 т.ru
dc.sourceXVI Королевские чтения. - Т. 1ru
dc.titleЭлектрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыленияru
dc.typeTextru
dc.citation.epage376ru
dc.citation.spage375ru
dc.citation.volume1ru
dc.textpartСтруктурное совершенство получаемых пленок зависит от состава исходной мишени, параметров распыления и состояния поверхности подложки. Среди методов измерения электрофизических параметров структур карбида кремния на кремнии особый интерес представляют бесконтактные СВЧ и оптические методы, так как позволяют быстро получить информацию, необходимую для корректировки параметров процесса получения пленок. Библиографический список 1. Лучинин В., Таиро...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-1668-0_2021-375-376.pdf602.95 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.