Отрывок: Б электронной микроскопии изображение получают с помощью элект­ ронов, прошедших через объект, либо отраженных от него, либо им ис­ пущенных, Электронные пучки форшруются электронно-оптическими сис­ темами с использованием электромагнитных или электростатических линз. Изображение фиксируется на люминесцентных экранах, фотопластин­ ках или иных чувствительных к электронам детекторах с ...
Название : Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники
Авторы/Редакторы : Рафельсон Л. Л.
Чернова Т. В.
. Министерство науки
высшей школы и технической политики Российской Федерации
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 1993
Библиографическое описание : Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники : метод. указания к контролируемой самостоят. работе. - Текст : электронный / М-во науки, высш. шк. и техн. политики Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. Л. Л. Рафельсон, Т. В. Чернова. - Самаpа, 1993. - 1 файл (903 Кб)
Аннотация : Рассмотрены современные методы исследования тонкопленочных и толстопленочных элементов интегральных схем, полупроводников, сегнето- и пьезоэлектриков, материалов функциональных схем. Дан сравнительный анализ различных методов, приведены их возможности и ограничения. Приведены примеры практического использования методик для исследования и измерения параметров элементов интегральных схем. Рекомендуется студентам спец. 23.03, изучающим курс "Специальные вопросы микроэлектроники и технологии*. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЗА*.
Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия).
Используемые программы: Adobe Acrobat.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\449978
Ключевые слова: интегральные схемы
микроэлектроника
методические указания
полупроводники
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Рафельсон Л.Л. Аналитические исследования 1993.pdf904 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.