Отрывок: Приведены технологические режимы получения органических нленок молекулярной толщины и результаты экспериментального исследования их параметров. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ИОННО-ЭЛЕКТРОННОГО ОТПИТА НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ В.А.Гусенков Научный руководитель - зав.уч.лаб. С.В.Кричевский Самарский государственный аэрокосмический университет Описаны экспериментальные результаты и рассмотрены механиз мы воздействия ионно-электронных потоков на структуру тонкопленоч но...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Ботяев С. А. | ru |
dc.contributor.author | Колпаков А. И. | ru |
dc.coverage.spatial | диэлектрические подложки | ru |
dc.coverage.spatial | загрязнение поверхностей | ru |
dc.coverage.spatial | загрязнения органическими материалами | ru |
dc.coverage.spatial | контролируемые загрязнения | ru |
dc.coverage.spatial | технологии контролируемого загрязнения | ru |
dc.creator | Ботяев С. А. | ru |
dc.date.issued | 1995 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\533916 | ru |
dc.identifier.citation | Ботяев, С. А. Разработка технологии контролируемого загрязнения поверхности диэлектрических подложек органическими материалами / С. А. Ботяев ; науч. руководитель А. И. Колпаков // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 108. | ru |
dc.source | Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.]. - Текст : электронный | ru |
dc.title | Разработка технологии контролируемого загрязнения поверхности диэлектрических подложек органическими материалами | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.spage | 108 | ru |
dc.textpart | Приведены технологические режимы получения органических нленок молекулярной толщины и результаты экспериментального исследования их параметров. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ИОННО-ЭЛЕКТРОННОГО ОТПИТА НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ В.А.Гусенков Научный руководитель - зав.уч.лаб. С.В.Кричевский Самарский государственный аэрокосмический университет Описаны экспериментальные результаты и рассмотрены механиз мы воздействия ионно-электронных потоков на структуру тонкопленоч но... | - |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-108.pdf | 46.74 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.