Отрывок: Приведены технологические режимы получения органических нленок молекулярной толщины и результаты экспериментального исследования их параметров. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ИОННО-ЭЛЕКТРОННОГО ОТПИТА НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ В.А.Гусенков Научный руководитель - зав.уч.лаб. С.В.Кричевский Самарский государственный аэрокосмический университет Описаны экспериментальные результаты и рассмотрены механиз­ мы воздействия ионно-электронных потоков на структуру тонкопленоч­ но...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorБотяев С. А.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.coverage.spatialдиэлектрические подложкиru
dc.coverage.spatialзагрязнение поверхностейru
dc.coverage.spatialзагрязнения органическими материаламиru
dc.coverage.spatialконтролируемые загрязненияru
dc.coverage.spatialтехнологии контролируемого загрязненияru
dc.creatorБотяев С. А.ru
dc.date.issued1995ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\533916ru
dc.identifier.citationБотяев, С. А. Разработка технологии контролируемого загрязнения поверхности диэлектрических подложек органическими материалами / С. А. Ботяев ; науч. руководитель А. И. Колпаков // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 108.ru
dc.sourceКоролевские чтения : всерос. студ. науч. конф : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.]. - Текст : электронныйru
dc.titleРазработка технологии контролируемого загрязнения поверхности диэлектрических подложек органическими материаламиru
dc.typeTextru
dc.citation.spage108ru
dc.textpartПриведены технологические режимы получения органических нленок молекулярной толщины и результаты экспериментального исследования их параметров. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ИОННО-ЭЛЕКТРОННОГО ОТПИТА НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ В.А.Гусенков Научный руководитель - зав.уч.лаб. С.В.Кричевский Самарский государственный аэрокосмический университет Описаны экспериментальные результаты и рассмотрены механиз­ мы воздействия ионно-электронных потоков на структуру тонкопленоч­ но...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-108.pdf46.74 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.