Отрывок: Однако при трибометрическом взаимодействии возможны механические по...
Название : Особенности механизма взаимодействия двух подложек в трибометрическом устройстве контроля чистоты их поверхности
Авторы/Редакторы : Ивлиев Н. А.
Колпаков В. А.
Дата публикации : 2007
Библиографическое описание : Ивлиев, Н. А. Особенности механизма взаимодействия двух подложек в трибометрическом устройстве контроля чистоты их поверхности / Н. А. Ивлиев, В. А. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 197.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\480344
Ключевые слова: диэлектрические подложки
микроэлектроника
коэффициент трения скольжения
контроль чистоты поверхности
методы трибометрии
трибометрические устройства
трибометрическое взаимодействие подложек
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0531-8_2007-197.pdf52.89 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.